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中科仪高真空分子泵机组，泵组搭配机械泵抽气口和分子泵抽气口，可根据需求使用，前级采用双极四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空载极限压强为1X10-4Pa
中科仪高真空分子泵机组KT-150YCF技术参数：
控制方式 | 手动人机界面控制 |
前级泵接口 | KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000转/分 |
分子泵抽气速率 | 140L/S |
分子泵启动时间 | ≤2min |
空载极限压强 | ≤1X10-4Pa |
真空测量方式 | 冷阴极标准规管 |
真空测量范围 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空测量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5% |
抽气接口 | KF25 |
阀门类型 | KF25手动挡板阀 |
系统电源 | AC220V |
系统功率 | ≤750W |
环境温度 | 5~32℃ |
冷却方式 | 强制风冷却 |
湿度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （宽-深-高） |
重量 | 25KG |
随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个 | |
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