晶圆鼓风烤箱，半导体烤箱概述：

   烤箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温停止加热功能，控制可靠，使用安全。

晶圆鼓风烤箱，半导体烤箱特点

1、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

用途

烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。 
也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

技术参数

1、名称：电热鼓风烤箱

2、主要技术指标：

2.1温度范围： RT（室温）+10～300℃；

2.2温度偏差：≤±2.0℃；

2.3升温速度：≥4℃/min，室温至200度大约50分钟；

2.4工作尺寸：W450×H450×D450mm；

2.5电源：AC220V 50HZ 3.5KW ；

3、箱体结构：

3.1箱体材料：外箱采用优质冷轧板烤漆；

3.2内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢；

3.3保温材料：超细玻璃棉；

3.4排 气 口：ф50；

3.5 隔 板：2层，不锈钢冲孔，承重约30KG；

3.6空气循环装置：轴流电机；

3.7加热方式：不锈钢电加热器；

4、温控系统

4.1温度测量传感器：Pt100 铂电阻；

4.2控制仪表：日本富士温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

4.3超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；

4.4 具有独立的计时器，计时开关，计时报警器