BCB无氧烘箱，BCB固化烤箱应用背景

  BCB作为一类高性能聚合物，以它*的性质，将会被越来越多地使用。BCB是具有优良的热稳定性、化学稳定性、电绝缘性和机械强度的高性能材料。在现代高技术领域有非常重要的应用。例如在微电子制造中，用作各类器件钝化防护和层间介电等。

BCB无氧烘箱，BCB固化烤箱工艺要求

涂BCB后，聚合物膜层需被处理以确保对后序处理操作的抵抗性。

由BCB树脂构成的膜的处理需在无氧条件下(<100ppm)进行。

1.  3-8分钟 上升到50℃ 恒温5-15分钟

2.15-20分钟 上升到100℃ 恒温15-25分钟

3.15-20分钟 上升到150℃ 恒温15-25分钟

4. 40-80分钟上升到250℃ 恒温45-65分钟

5.冷却

无氧烘箱技术指标：

工作室尺寸（mm）：350*350*350/450*450*450/600*600*600/可定制

真空度：≤133pa

温度：TT+50～400℃

升温速率：1～8℃/m，可调

降温时间：350-90℃≤80min

氧浓度：≤10ppm 

箱内材质：316L科研级不锈钢

真空泵：涡旋式无油泵

保温材质：陶瓷纤维

冷却装置：水冷+风冷

操作方式：人机界面+PLC

运行功能：自动一键运行

程序模式：多个工艺保存编辑