真空无氧化烤箱（BCB厌氧固化烤烘箱）由真空泵、真空组件、真空测量等组成；数显真空控制器，显示腔内相对压强并可根据工艺要求控制压力值。

真空无氧烤箱是将涂敷BCB或PI的衬底放入真空无氧烘箱中，通入N2→真空置换后，采用多级升温保温的方式，在规定的时间从室温升至第一温度阶段，并在该温度段保温1-2h，再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段，并在该温度段保温一定的时间；随后增通过辅助的降温系统（水冷和风冷），将退火炉的温度降至80度左右，完成固化。

温度范围： 120～ 400/500℃；
温度波动度：≤±1℃
升温速度：0-10℃/min；
降温方式：水冷降温
氮气控制：电磁阀+可调试流量计控制
氧含量检测：氧浓度检测仪，氧含量可达20ppm
工作腔尺寸（mm）：

W350×H350×D350

W500×H500×D600

W600×H600×D600

可定制

真空无氧化烤箱（BCB厌氧固化烤烘箱）温控系统：
操作界面：人机界面+PLC，可一键运行，多个工艺编辑；
温度测量：K型热偶；
控制仪表：高精度温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃，可程式触摸屏控制器可选择；
超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
控制系统：主要电器件均采用施耐德、正泰等品牌元气件；