无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂（PI）烤箱概述

       为了获得良好的聚酰亚胺性能，非常好的温度均匀性，低氧含量和低颗粒数是非常重要的，无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂（PI）烤箱腔内的气体保持相当干净（100级），良好的温度均匀性。通过氮气吹扫可将氧气含量降低至20ppm以下。这保证了非光敏聚酰亚胺的优异工艺结果。

 应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料、导线、光纤和石英毛细管表面的保护，以及半导体器件的钝化保护、无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂（PI）烤箱技术参数

材质：外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢
温度范围：RT+10-200/450℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：＜±1℃
温度均匀度：≤±1/2%

洁净度：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
升温时间：根据要求定做
降温时间：根据要求定做

 高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量

 低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量

数据记录：温度和氧含量记录仪
无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂（PI）烤箱性能特点
      无尘烤箱是对流烤箱。气体通过耐热HEPA过滤器并由特殊的护套加热器加热，然后通过冲压后侧引入炉腔。气体以层流方式通过腔室，并被冲压到前端排出。烤箱的鼓风机吸入来自门的气体，并将其与来自外部的新鲜气体混合。气体混合物通过热交换器以使其冷却，部分气体被排出。剩余的气体通过HEPA过滤器，然后再次加热，依次循环。