硅片充氮烘箱，无氧充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱，无氧充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。烘箱工作室为光亮型全不锈钢结构。工作室内温度采用智能式数显温度控制仪进行自动控制P.I.D调节,数显时间控制,并设有断路及超温报警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可满足电子电器、医药、实验室等生产及科研部门中净化干燥。特殊要求温度可达350℃-400℃并且可加装氮气进出口。

用途

洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

技术参数

Ø  温控输出：SSR输出，品牌继电器，固态继电器。                   

Ø  测温装置：PT100 铂 电阻温度传感装置，测温精确。

Ø  内室材料：采用无磁性不锈钢；外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE) 。

Ø  保温材料：玻璃纤维。

Ø  保护装置：超温保护器，无熔丝开关。

Ø  流 量 计：氮气转子流量计

无氧烘箱

一． 概述

无氧化烘箱，在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用途：IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板……

二．技术参数

1、主要技术指标

Ø  含氧量：< 100ppm;

Ø  温度范围： RT（室温）+10～ +200℃；

Ø  温度均匀度：±1℃;

Ø  温度波动度：±0.5℃（空载）

Ø  温控精度：0.1℃;

Ø  烘箱搁板为活动形式。