GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

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具体成交价以合同协议为准
2023-10-01 09:23:31
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深圳市科晶智达科技有限公司

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产品简介

GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜

详细介绍

GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。
功能特点
  • 设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
  • 通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得镀膜效果。
  • 钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
  • 陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
  • 根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
  • 已通过CE认证。
技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水 不需要
电 AC220V 50Hz，必须有良好接地
气 设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）
工作台 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通风装置 不需要
电源 220V
总功率 <2000W（包括真空泵）
真空室 Ø160mm×120mm
样品台 Ø50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜
均匀镀膜 Ø45mm
尺寸 400mm×300mm×400mm
重量 30kg
可选配件 金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件 1 金靶材 1个
2 进气针阀 1个
3 保险丝 2个
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53484 [{"ID":"739978","CompanyID":"67667","Title":"样品的采取及制备","Picture":"","PictureDomain":"","UpdateTime":"2024/8/9 7:47:32","CreateTime":"2024/8/9 7:47:32","ClassName":"技术交流","rn":"3"},{"ID":"491788","CompanyID":"27778","Title":"仪器仪表故障处理方法","Picture":"3/20220729/637946843443509447948.jpg","PictureDomain":"img69","UpdateTime":"2022/7/29 9:39:13","CreateTime":"2022/6/12 17:10:05","ClassName":"采购指南","rn":"4"}]