● 输入电源：220V 通用 功率：< 1KW

● 工作电流： 溅射电流：0-50 mA可调

● 单次工作时间：0-5分钟可调

● 靶头数目：3个

● 输出电压：1600V DC

● 样品台加热温度：500℃（选配）

溅射腔体

● 采用石英腔体，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H

● 密封：采用O形密封圈密封

样品台

● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片，可以电动控制移动三个位置

● 溅射距离：25 - 40毫米可调

● 可选购加热型样品台（MAX温度可到500℃）

● PID控制器控温精度+/- 1℃（已集成到触摸屏上）

控制面板

● 控制面板为PLC，4.3" 触摸屏

● 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度

真空泵（选配）

● 用机械泵真空度达 50 mtorr（仅供参考，详情请点击）

● 用分子泵真空度可达 10-4 torr（仅供参考，详情请点击）

一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量

靶材

● 要求安装靶材的尺寸：直径Φ47mm,厚度0.5-3mm

● 可在本公司选购靶材,具体请点击链接

● 460mm×330mm×540mm (L×W×H)

● 净重:50KG（不包括泵）

一年保修，终身技术支持

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

对于溅射各种金属靶材，需要摸索THE BEST 的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数（参考值，

详情请点击）

● 由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机

或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节

● 有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜

● 为了得到较好的薄膜质量，必须通入高纯气体（建议> 5N）

● 在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

● 要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面

● 超声波清洗（详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）

真空烘箱除去水分。

● 等离子清洗（详细参数点击下面图片):可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物

● 制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力

超声波清洗机 等离子清洗机 大功率磁控溅射仪 蒸镀仪 手套箱

● 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。

● 气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。

● 溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶材