法国阿尔卡特真空泵维修ALCATEL A803H干式真空泵

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法国阿尔卡特真空泵维修ALCATEL A803H干式真空泵

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法国ALCATEL A803H干式真空泵维修保养

ALCATEL ADIXEN A3H range Dry pumps Applications

• All Semiconductor harsh applications such as:

- PECVD

- ALD

- MOCVD

- SACVD

- LPCVD




ALCATEL ADIXEN A3H range Dry pumps Technical Specifications：


ALCATEL ADIXEN A3H range pumping speed - 60 Hz / No purge

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