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一、CCD-电动真空插板阀电动超高真空插板阀概述：是通过电动装置驱动阀杆带动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。
带反馈信号装置型电动超高真空插板阀主要零件材料阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶。
型电动超高真空插板阀外形及连接尺寸(mm)
在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。
真空阀门具有下列特点：
压力低于大气压，而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70~ 150℃的范围。
对这类阀门基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。
按介质压力真空阀门可分成四组：
低真空阀门：介质压力p=760~1毫米汞柱；
2）中真空阀门：p=1×10-3毫米汞柱。
3）高真空阀门：p=1×10-4~1×10-7毫米汞柱；
4）超高真空阀门：p≤1×10-8毫米汞柱。
作为通径小于250毫米的闭路阀门，被广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制，但这主要是对于大通径来说的。可用的还有球形旋塞阀（球阀）、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广，因为旋塞阀需要用油润滑，使油汽可能进入真空系统，而这是不允许的。真空阀门既可用现场手控和遥控，也可用电动、电磁传动（电磁阀）、气动和液动控制。
真空阀门关闭件是用像胶密封圈或金属密封圈来密封的。波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成。小通径（口径在10毫米以下）的截止阀关闭件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。
真空阀门在真空系统中的作用
开关气路，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，三科阀门机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。
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