详细介绍

MetOne 255标准粒子发生装置

气体尘埃粒子计数器的校正程序

校正所需设备：

100 级洁净房或洁净台

一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器，如 Metone3400

各粒径的标准粒子，如 0.3um  0.5um  1um 等等

标准粒子气体产生器，如 Model 255

可产生脱离水（ DI 水）的纯水系统或类似装置

  其它普通电器，如 220V 电源插座，万用表等等

校正的基本原理

标准粒子（如 0.301um ）通过 255 粒子产生器由液状雾化成气体，并由其内置泵通过 0.2um 的过滤器后的干燥气体进入取样管路，这时，将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试，并比校 0.3um 粒径的测试值。如果其平均值在 20% 以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一定要弄清楚其流速，取样时间，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。

三 . 校正的基本步骤：

现假设对一台常见的 Metone227B 作校正

首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差别，其测试原理一样，但 Metone3413 流速为 1CFM （立方英尺 / 分钟），而 Metone227B 则为 0.1CFM 。

首先，请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开 Metone227B 和 Metone3413 ，让其预热半小时。

  准备好 255 的取样器管，并搭接好其所有气体管路。

将配好的标准液（如 0.301um ）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。

  设置 Metone3413 和 Metone227B 的基本参数

取样时间都设置为 00 ： 01 ： 00

取样次数都设置 03

取样模式都设置为 Auto

间隔时间都设置为 00 ： 00 ： 05

读数模式都设置为 Cumulative

注：以上设置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 测试结果会是 Metone227B 的 10 倍。

此时，打开 255 电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约 60SCFH 时后，保持其工作状态。

此时，让 Metone227B 和 Metone3413 同时工作，看其三次的平均结果，若在 20% 以内，视为合格。

拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。
  以上校正只是对比校正，尚可用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。

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