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在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里,从物质的微细结构到组成成分,SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大,但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品,由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制,所以观察时需要进行切割等加工。因此,对超大样品不施以加工处理,便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。 前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台,分别拍摄样品各个部分,再将各个图像拼接成1张大图像,实现了大视野的相机导航观察,十分适用于超大样品的大范围观察。
通过自动光路调整和各种自动化功能,样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整,自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下
近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化,需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外,已扩展到质量和生产管理方面,使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求,以进一步减轻操作人员的负担。
此次发售的“SU3800"与“SU3900",支持超大/超重样品的观察,特别是大型扫描电镜“SU3900",可选配直径300mm *1、承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台,即使是超大样品也无需切割加工即可观察。
同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后,通过自动光路调整及各种自动功能调整图像,随后可立即获得样品图像,真正实现了快速观察。
【主要特点】
(1) 支持超大/超重样品测试
可搭载的样品尺寸:“SU3800" 标配可搭载直径200mm样品的样品仓,可应对高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900"作为日立的大型扫描电镜,标配可搭载直径300mm样品的样品仓,可应对高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品
(2) 支持大视野观察
■“SU3800"与“SU3900"的观察范围分别是:直径130mm、直径200mm
■安装有“SEM MAP"导航功能,只需在导航画面上观察目标位置,即可移动视野
■安装有“Multi Zigzag"系统,可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像,并将取得的图像拼接在一起,生成大视野高像素图像
(3) 通过自动化功能提高操作性能
■通过自动光路调整和各种自动化功能,样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整,自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下
用寿命到期所造成的中断观察。