北京松信宏泽科技有限公司

：潘女士

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VSH超高真空真空计

典型应用：
·分析仪器
·涂料厂和气相沉积
·溅射厂
·测量和控制超高真空
·真空炉
·过程控制 
·空间模拟
优点：
·传感器测量范围广Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自动控制热阴极传感器
·Pirani传感器可以保证热阴极在低压时的正常操作，延长使用寿命
·高精度和良好的重复性
·真空过程中热和电的干扰小
·测量单元体积小，例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防风、涂钇双纤
·空气入侵不影响测量
·LED显示仪器状态和开关点
·传感器可更换
·Pirani和热阴级传感器的不同气体的校正因子可以校准压力读数
·可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的显示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模拟输出信号1.219-8.6V或EtherCAT
·通过按键或接口调整零点和大气压
·LCD显示（VSH88DL、VSH89DL）
·如果出现错误，屏幕闪烁红色，正常工作状态是绿色(VSH88DL，VSH89DL）
·和PLC连接方便
·数据可以远程传输（zui远距离500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金属外壳，结实耐用
·通过不锈钢小法兰DN 40 ISO-KF或conflat法兰DN 40 CF-F真空连接

尺寸mm

技术参数
测量原理            Pirani/Bayard Alpert（依据气体不同）
真空接触材质        不锈钢1.4307、Ni、W、PI、钇涂铱、玻璃
测量范围            1000到5×10-10mbar（750到5×10-10torr），zui大过压4bar
精度                1000到10mbar:<30%读数
                    10到1×10-8mbar:<10%读数
重复性              ±2%（10到1×10-2mbar），5%（1×10-2到1×10-8mbar）
响应时间            <200ms（开关BA发射电流时是2秒）
放射电流            自动开关10μA,100μA，1mA，2mA
Degas               正极通电加热                
供电电压             20到30VDC
电气连接             VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15针,male,lockable
                     VSH88E,VSH89E:M12圆形接头,female,lockable
                     1x标准A,5针,2x密码D,4针
电流                 zui大8W，同时1Wf.degas和0.8Wf.EtherCAT/继电器/LCD
操作温度             5到60℃
存储温度             -40到65℃
zui高烘烤温度         法兰（电气分离）上的温度180℃
输出信号             0到10VDC，测量范围1.219-8.6VDC，log.，0.6V/等级
                     负载电阻>10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
串行接口             RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，开关地址1-16
开关点               2个开关继电器，50VAC/2A,30VDC/2A,zui大60VA
真空连接             DN 40 ISO-KF（VSH88),DN 40 CF-F（VSH89)
防护等级             IP54（VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/D)
重量                 约555克

订货代码：
·VSH88D
真空计Pirani/Bayert Alpert，1000到5×10-10mabr，DN 40 ISO-KF连接，输出0-10V log和RS485
·VSH88DL
同VSH88D，带显示
·VSH88E
同VSH88D，输出RS485和EtherCAT
·VSH89D
真空计Pirani/Bayert Alpert，1000到5×10-10mabr，DN 40 CF-F连接，输出0-10V log和RS485
·VSH89DL
同VSH89D，带显示
·VSH89E
同VSH89D，输出RS485和EtherCAT

配件：
·W1515002
带VD12和VD10的真空计VSH88D/DL和VSH89D/DL的连接线，线长2米
·W1515006
同W1515002，线长6米
·W1515020
同W1515002，线长20米
·B_VSH88
传感器探头，DN 40 ISO-KF，f.VSH88
·B_VSH89
传感器探头，DN 40 CF-F，f.VSH89

VSH超高真空真空计

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