品牌
经销商厂商性质
北京市所在地
北京松信宏泽科技有限公司
:潘女士
:
典型应用:
·分析仪器
·涂料厂和气相沉积
·真空炉
·过程工程
·测量和控制超高真空
·溅射厂
优点:
·传感器测量范围广Pirani/cold cathode
·Pirani自动控制冷阴极传感器
·Pirani传感器可以保证冷阴极在低压时的正常操作,延长使用寿命
·传感器结实耐用
·测量单元体积小,例如VSM77D是9CM3
·良好的启动装置
·空气入侵不影响测量
·两个独立、浮动电位继电器开关
·LED显示仪器状态和开关点
·传感器可更换
·Pirani和冷阴级传感器的不同气体的校正因子可以校准压力读数
·可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的显示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模拟输出信号1.819-8.6V或EtherCAT
·通过按键或接口调整零点和大气压
·LCD显示(VSM77DL,VSM79DL)
·如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSM77DL,VSM79DL)
·和PLC连接方便
·数字输出信号可以远程传输(zui远距离500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金属外壳,结实耐用
·通过不锈钢小法兰DN 25 ISO-KF或conflat法兰DN 40 CF-F真空连接
尺寸mm
技术参数
传感器 Pirani/inverted magnetron(依据气体不同)
真空接触材质 不锈钢1.4307、镍,钨,钼,玻璃,陶瓷
测量范围 1000到5×10-9mbar(750到5×10-9torr),zui大过压4bar
精度 1000到10mbar:<30%读数
10到2×10-3mbar:<10%读数
2×10-3mbar到1×10-8mbar:<25%读数
重复性 ±2%读数(10到1×10-2mbar)
±7%读数(1×10-2到1×10-8mbar)
响应时间 200ms
阴极电压 zui大2.5kV
供电电压 20到30VDC
电气连接 VSM77D/DL,VSM79D/DL:SubD,15pol.,male,lockable
VSM77E,VSM79E:M12圆形接头,female,lockable
1x标准A,5针,2x密码D,4针
电流 zui大3W,同时0.8Wf.EtherCAT/继电器/LCD
操作温度 5到60℃
存储温度 -40到65℃
zui高烘烤温度 法兰(电气分离)上的温度160℃
输出信号 0到10VDC,测量范围1.819-8.6VDC,log.,0.6V/等级
负载电阻>10KΩ(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
串行接口 RS485:9.6kBd到115kd,开关地址1-16
开关点 2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,zui大60VA
真空连接 DN 25 ISO-KF(VSM77),DN 40 CF-F(VSM79)
防护等级 IP54(VSM77E,VSM79E),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
重量 约555克
订货代码:
·VSM77D
真空计Pirani/inverted magnetron,1000到5×10-9mabr,DN 25 ISO-KF连接,输出0-10V 和RS485
·VSM77DL
同VSM77D,带LCD显示
·VSM77E
同VSM77D,RS485输出和EtherCAT
·VSM79D
真空计Pirani/inverted magnetron,1000到5×10-9mabr,DN 40 CF-F连接,输出0-10V 和RS485
·VSM79DL
同VSM79D,带LCD显示
·VSM79E
同VSM79D,RS485输出和EtherCAT
配件:
·W1515002
带VD12和VD10的真空计VSM77D/DL和VSM79D/DL的连接线,线长2米
·W1515006
同W1515002,线长6米
·W1515020
同W1515002,线长20米
·B_VSM77
传感器探头,DN 25 ISO-KF,f.VSM77
·B_VSM79
传感器探头,DN 40 CF-F,f.VSM79
北京松信宏泽科技有限公司
:潘女士
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