日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列 氨法脱硫设备

日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列 氨法脱硫设备

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30000 1000

具体成交价以合同协议为准
2023-11-15 15:39:32
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产品简介

日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列
通过在放电后向等离子体中注入前驱体,ULCoat系列可以在处理过的表面上沉积薄膜。
ULCoat是一款可将前驱体汽化并注入等离子体中,后由喷嘴完成薄膜沉积的系统。ULCoat系列需要与ULS OMEGA系列配合使用。

详细介绍

日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列

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通过在放电后向等离子体中注入前驱体,ULCoat系列可以在处理过的表面上沉积薄膜。

ULCoat是一款可将前驱体汽化并注入等离子体中,后由喷嘴完成薄膜沉积的系统。ULCoat系列需要与ULS OMEGA系列配合使用。
ULCoat系列的标准版本是为了允许使用有机金属作为前驱体进行氧化硅(SiOx)的沉积而设计的。当然,我们也可以根据要求开发其他薄膜成分。
您可以与我们的研发实验室合作,在研发合同的框架下,定制您的专属解决方案。

ULCoat系列技术特点

喷嘴

在注入等离子体之前,液态前驱体的流速是可以控制的。该模块由几个部分组成。

直观的数字触控屏

适用气体

日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列

ULCoat系列的优势



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