日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541

ST-3541采用“无源型”，探头中没有内置电路。因此，稳定性大大提高。此外，由于没有电路部件，因此紧凑且具有用于结合的z佳结构。
它是纳米位移测量，精密工作台位置检测/姿态控制，平面度和厚度测量的理想选择。

特征

出色的高稳定性

下图是在25测量在恒温浴组稳定性的一例℃。
您可以看到已经进行了12小时的长时间稳定测量。

实现高分辨率测量

z大分辨率0.3nm-rms下
图显示了由步进电信号驱动的压电元件的位移。
即使只有1 nm的小步进信号，也可以很好地检查响应。

• 1nm步进
  波形：频率0.15Hz步进宽度1nm。
  频段设定：100Hz

线性度0.05％

通过使用不需要线性化器的测量方法，可以实现出色的线性度。

• 
  较小的探头使安装更容易由于探头主体没有内置电路，因此尺寸已大大减小。
  这大大扩展了结合到测量系统中的自由度。

• 使用的连接电缆，可以
  在通道之间进行同步操作。即使使用多台设备，也可以通过连接通道进行同步操作。同步操作可防止通道之间的干扰并稳定测量结果。

• 您可以减少系统构建的成本。
  当使用多个通道时，只有通过按需供电才可以扩展，因此可以降低系统构建成本。

可以在真空中进行测量

通过使用与真空兼容的定制探头，可以测量真空中的位移。

日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541

应用领域

• 精密定位，位置检测，半导体的姿态控制，精密处理，显微镜等

• 压电元件的振动和振幅测量等

• 硅片，金属板，精密加工零件等的平面度和厚度测量

• 测量轴跳动，表面跳动和精密电机的圆度等

• 纳米位移测量