*原则上，本装置测量范围内的任何样品均可测量。请联系我们。

・超高电阻薄膜样品（a-Si、IGZO等）

・接近绝缘的半导体材料

・导电橡胶

这样的

尺寸：最大300×400mm

厚度：最大 2mm

*可以进行尺寸对应等定制。请联系我们。

10E+9 至 10E+15Ω/□

半导体/太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
 新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
 导电薄膜（金属、ITO等）
 硅基外延、 ion Injection sample
 化合物半导体相关（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
 其他（*请联系我们）

2 至 8 英寸
（可选；12 英寸）

[电阻率] 1m 至 200 Ω・cm
（*所有探头类型的总范围/当厚度为 500um 时）
[薄层电阻] 10m 至 3k Ω/sq
（*所有探头类型的总范围）