• 可安装 4 种探头的探头更换机构无需为每个测量样品更换探头。

• 通过双模式高精度测量高达 1mm 的边缘

• 高速测量带来的成本优势

• FOUP 装载口，兼容 GEM/SECS

• 半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）

• 导电薄膜相关（金属、ITO等）

• 扩散样品

• 硅基外延、离子注入样品

• 其他（*请联系我们）

12英寸
（选项；200mm组合使用）

[薄层电阻] 1m 至 10MΩ/sq

• 4探针半自动玻璃基板薄膜测量仪

• XY轴机构台

• 面内多点测量，均匀间距或随机间距设置选择，配备2-D/3-D绘图软件

• 半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）

• 新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）

• 导电薄膜相关（金属、ITO等）

• 扩散样品硅基薄膜（LTPS等）、IGZO

• 硅基外延、离子注入样品

• 化合物半导体（GaAs、Epi、GaN、Epi、InP、Ga等）

• 其他（*请联系我们）

最大300×300mm（可选；最大500×500mm）

[电阻率（比电阻）] 1 m 至 200 Ω cm
[薄层电阻] 1 m 至 1,000 k Ω/sq（选项；高达 10 M Ω/sq

• 具有大电阻测量范围的 4 探头测量仪

• 用于圆形/方形测量的测量模式可编程和映射软件

• 自检功能、厚度/周边位置/温度校正功能（针对硅）

• 根据电阻范围从 2 种类型的测试仪中选择

• (RT-3000(S)：宽测量范围，RT-3000(H)：高电阻测量范围)

• 半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）

• 新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）

• 导电薄膜相关（金属、ITO等）

• 扩散样品

• 硅薄膜（LTPS等）、IGZO

• 硅基外延、离子注入样品

• 其他（*请联系我们）

~8 英寸或 ~156x156mm

・选项（用于大直径尺寸：型号 RG-3000）：最大 12 英寸，最大 210 x 210 毫米

①RT-3000(S);
[电阻率(电阻率)] 100μ~1MΩ・cm
[方块电阻] 1m~10MΩ/sq
②RT-3000(H);
[方块电阻] 10m~1GΩ/sq

• 4探针半自动玻璃基板薄膜测量仪

• XY轴机构台

• 面内多点测量，均匀间距或随机间距设置选择，配备2-D/3-D绘图软件