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otsukael 高灵敏度示差折光仪 钨丝灯 光源DRM-3000的介绍
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通过注射器方法可以很容易地进行样品注入。
数据处理很容易,因为控制和数据采集是从个人计算机进行的。
低噪声、高稳定性和可重复测量是可能的。
通过静态光散射测定重均分子量的 dn/dc 测量
表面活性剂等的胶束临界浓度(c.m.c)测量
高分子吸附量的测定
高分子共聚物的成分分析
脂质体相变温度测量等
除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外,它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外,还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。 |
可在紫外-可见(300 至 800 nm)波长范围内测量椭圆参数
能够分析纳米级多层薄膜的膜厚
通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱
支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析
通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性
椭圆参数(tanψ,cosΔ)测量
光学常数(n:折射率,k:消光系数)分析
膜厚分析
半導体ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光学定数(波長分散)
化合物半導体
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜
光学薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価
光源 | 钨丝灯 | |||
探测器 | 光电二极管阵列 | |||
测量波长 | 633 nm(带干涉滤光片) | |||
样品池 | 流通池容量 8 μL(注射器法) | |||
温度范围 | 10至50°(无结露) 恒温水循环系统 | |||
测量范围 | 0 至 ±4× 10 -3Δn | |||
噪音水平 | 2×10 -7 Δn(25℃,蒸馏水) | |||
基础稳定性 | 2×10 -6 Δn/h(25℃,蒸馏水) | |||
电源 | AC100V±10V, 150VA (最大) | |||
尺寸(WDH) | 260×400×165mm | |||
重量 | 约13公斤 |