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otsukael光谱干涉式晶圆测厚仪SF-3的介绍
otsukael光谱干涉式晶圆测厚仪SF-3的介绍
OPTM 是一种通过使用显微镜光谱测量微小区域的绝对反射率来实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的设备。
各种薄膜、晶圆、光学材料等镀膜、多层膜厚度的无损、非接触测量。可以进行1秒/点的高速测量。此外，它配备了软件，即使是初次使用的用户也可以轻松分析光学常数。。
膜厚测量所需的功能集成在测量头中
使用显微光谱法进行高精度绝对反射率测量（多层膜厚度、光学常数）
每点1秒以内的高速测量
实现显微镜下宽测量波长范围（紫外到近红外）的光学系统
区域传感器安全机制
一个简单的分析向导，即使是初次使用的用户也可以进行光学常数分析
配备可自定义测量顺序的宏功能
也可以分析复杂的光学常数（多点分析法）
300mm载物台兼容
能够从低亮度到高亮度进行高速、高精度测量的光谱辐射亮度计。
使用电子冷却线性阵列传感器，的光谱设计和信号处理电路在宽亮度范围和波长范围内实现了低噪声、高精度测量。
| - 辐射 (W/sr/m 2 ) | - 色域（NTSC 比例）*1 |
| - 亮度 (cd/ m2 ) | - 反应速度*2 |
| - 色度坐标 xy [符合JIS Z8724 ] | - 亮度 (J) *3 |
| - 色度坐标 U'V' [符合JIS Z8781-5 ] | - 亮度 (Q) *3 |
| - 相关色温 | - 饱和度 (s) *3 |
| - CIE 颜色系统 2°/10° | - 色度 (C) *3 |
| - 三刺激值 XYZ | - 色彩度（M）*3 |
| - 偏差 | - 等效亮度值*4 |
| - 光谱数据的四种算术运算 | |
| - 光谱数据的功能处理 |
LCD、PDP、有机EL、大尺寸LED视觉等显示器件的
光谱数据、亮度、色度、相关色温测量
照明光源（如灯）的光谱数据、亮度、色度和相关色温的测量
作为各种亮度和色度测量仪器的标准
物体的非接触式颜色测量
