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ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪YTP70A
考虑到在台面上使用的环境，
降低了运转时的噪音、振动。
低噪音
运转声音在43dB以下，十分安静。（空载运行时。ICF法兰型。本公司测定。）]
小型、轻量设计
出色的操作性
配备触摸屏，提高了操作性。
无需真空计专用显示机
可以读取真空计的信号并显示在操作屏幕上。最多可连接两个真空计。
适用标准
CE、cTUVus
操作性
通过简单易懂的显示图标，可简单的操作
各种实验、研究的高真空排气系统
从大气压至高真空的排气系统
其他所有的高真空排气用途
| 型号 | YTP70A-D | ||
| 到达压力 *1 | Pa | 10-6 | |
| 排气速度 *2 | N2 | L/s | 70 |
| He | L/s | 60 | |
| H2 | L/s | 49 | |
| 辅助泵排气速度 | L/min | 20 | |
| 质量 | kg | 17.5 | |
| 噪音 *3 | dB | 43 | |
| 输入电压 | 单相 AC 100～240V(50/60Hz) | ||
| 电源容量 | 300W(50/60Hz) | ||
| 标准附属品 | 安装说明书(CD-R),I/F连接端口,保护网,密封垫片 | ||
| 外部选配件 | AC电缆(3m) *4 | ||
| 适用规格 | CE,cTUVus | ||
系统比两级排气系统更快。
具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
大气压下可以运作。
真空吸盘，晶圆和处理设备。
真空镊子，科研。
印刷设备。
自动包装机。
光学器具。
半导体行业。
注塑机。
膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
大气压力下可运作。
结构简单，维护方便。
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
有效排气速度 | L/min | 120 | 145 |
极限压力 | Pa (kPa) | 3.3×10 3 （-98.0） | |
使用电动机 | 単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run | ||
全负荷电流 | A | 4.8 | 5.8 |
重量 | kg | 26.0 | |
吸・排气口径 | mm | ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) | |
使用环境温度范围 | ℃ | 0～40 | |
最大尺寸 | mm | 193.5(W)×411(L)×285(H) | |
