PFL-22ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪 离子溅射仪
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ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪PFL-22
ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪PFL-22
轻量・紧凑、标准尺寸最小的泵
适用于实验室和研究室的小型真空设备。
可以多台运行（最多3台）
可以达到超高真空（10-8Pa以下）
膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
单级排气系统比两级排气系统更快。
具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
大气压下可以运作。
真空吸盘，晶圆和处理设备。
真空镊子，科研。
印刷设备。
自动包装机。
光学器具。
半导体行业。
注塑机。
膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
大气压力下可运作。
结构简单，维护方便。
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
有效排气速度 | L/min | 120 | 145 |
极限压力 | Pa (kPa) | 3.3×10 3 （-98.0） | |
使用电动机 | 単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run | ||
全负荷电流 | A | 4.8 | 5.8 |
重量 | kg | 26.0 | |
吸・排气口径 | mm | ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) | |
使用环境温度范围 | ℃ | 0～40 | |
最大尺寸 | mm | 193.5(W)×411(L)×285(H) | |
