brooksinstrument机械压力计 布鲁克斯仪器S122 / C122的介绍

brooksinstrument机械压力计 布鲁克斯仪器S122 / C122的介绍

布鲁克斯仪器 122 系列机械压力计的设计和开发目的是满足半导体行业应用对高纯度的苛刻要求。设备采用不锈钢材质，特点是精度可达满量程的 1%。上述两英寸仪表属于耐用型测量设备，适用于各种 过程连接、压力范围和安装方向，可高效、可靠地进行本地压力监测。

特点

• 不锈钢移动件可确保精密性

• 316L 不锈钢接液部件

• 焊接至无氧仓中的仪表，以满足严格的洁净和安全性准则要求

• 拥有各种型号和压力范围，可满足特定设计需求

优势

• 耐用、高效的压力本地监测手段

应用

• 用于半导体加工的气体输送系统和工具，包括：

• 大宗气体

• 气柜

• 气体分配

如需能够在超高纯度应用中进行可靠压力监测的智能设备，请选择布鲁克斯仪器的智能电子压力传感器和变送器。所选用的接液表面材料具有高耐腐蚀性，适用于各种恶劣环境。我们的创新型隔膜生产工艺可降低零点漂移，而其他压力传感器和变送器竞争产品则通常缺乏零点稳定性。该产品拥有宽量程以及各种 I/O 选件，您仅需单一设备类型即可满足各种工作条件要求，从而能够最大限度降低库存并避免操作人员混淆。