technomate气动柱塞泵 增压泵 高压泵KPW的介绍

technomate气动柱塞泵 增压泵 高压泵KPW的介绍

• 产品概要

• 一种内置气动柱塞泵的高压水发生装置，适合安装在集气压调节器、气压表、排气压力表等为一体的装置中。

• 用法

• 用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗

规格

• 模型

  KPW系列

• 排气压力

  KPW-20：0.98~9.8MPa
  KPW-30：1.47~14.7MPa
  KPW-37.5：1.76~17.6MPa

• 排出流量

  KPW-20：1.13L/min
  KPW-30：0.71L/min
  KPW-37.5：0.58L/min

• 驱动气压

  0.05～0.5MPa

• 耗气量

  约70L（泵冲程数为60SPM时）

• 湿密封

  纯水、IPA ･･･ FKM
  NMP ･･･ Kalrez

• 产品概要

• 气动柱塞泵不使用电力，因此可用于防爆区域。适合并入升降设备等。

• 用法

• 用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗

规格

• 模型

  FSBL-50

• 排气压力

  2.5~25Mpa

• 排出流量

  1.68升/分钟

• 驱动气压

  0.05~0.5Mpa

• 先导气压

  0.3~0.5Mpa

• 湿密封 纯水，IPA

  氟橡胶

• NMP

  卡尔雷兹

• 产品概要

• 将低水压的纯净水加压供给设备

• 用法

• 各种清洗设备、
  切粒机主轴电机冷却、
  去毛刺等。

规格

• 模型

  PU300A

• 泵

  级联不锈钢泵
  400W

• 排出流量

  13L/min/16L/min 50/60Hz
  at 0.5MPa

• 适用流体

  纯净水

• 展示

  排气压力表 0-0.6MPa
  排气压力调节阀（溢流方式）

• 遥控功能

  水泵运行/停止指令 DC24V

• 安全操作

  ・外部切断动作时溢流阀自动切换内部循环溢流动作压力0.5MPa
  ・循环水温上升检测动作温度50℃
  ・过电流/漏电保护功能断路器动作

• 电源

  AC200V ±10% 3Φ
  50/60Hz 1.2kVA

• 外形尺寸

  W228*H336*D520

• 住房

  不锈钢发纹饰面

• 重量

  约25公斤

• 使用环境

  室内，温度10-35°C，
  湿度30-80%

• 产品概要

• 将低水压的纯净水加压供给设备

• 用法

• 各种清洗设备、
  切粒机主轴电机冷却、
  去毛刺等。

规格

• 模型

  PU201A

• 泵

  级联不锈钢泵
  200W

• 排出流量

  17L/min/9L/min 50/60Hz
  4Kgf/cm2 小时

• 适用流体

  纯净水

• 遥控功能

  水泵运行/停止指令 DC24V

• 安全操作

  ・外部切断动作时通过泄压阀自动切换内循环泄压动作压力5Kgf/cm2
  ・循环水温上升检测动作温度50℃
  ・过电流/漏电保护功能断路器动作

• 电源

  AC100V ±10% 50/60Hz 8A

• 外形尺寸

  W210*H245*D390

• 住房

• 重量

  约15公斤