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CDG025D-C INFICON SKY 电容膜片真空计
SKY AllCeramic CDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成,替代常规CDG的不锈钢材料,本产品适用于必须避免金属污染的应用中。
CDG025D-C INFICON SKY 电容膜片真空计
优势:
1、 无金属污染。
2、 临界的零点漂移。
3、 事实上的耐腐蚀性-长传感器的寿命的结果是减少停机时间。
4、 从而阶段拥有的成本。
5、 在整个长的运行周期中优等的精度和重复性。
6、 更好的*稳定性和温度稳定性。
7、 对频繁暴露于大气不敏感。可免除隔离阀(取决于工作模式)
8、 由于保护性屏蔽(Suprashield),对微粒和过程副产物不敏感。
CDG025D-C INFICON SKY 电容膜片真空计
用途:
1、 刻蚀、CVD和PVD工艺过程。
2、 采用注入或按扩散工艺的硅掺杂过程。
3、 氧化过程。
4、 产生膜厚为100A范围的栅氧化层。
5、 产生阻挡(Ti,TiN,Ta和TaN作为硅与铝或铜之间的保护膜层)