CDG160A-C/CDG160A-CSINFICON SKY电容膜片真空计

SKY AllCeramic CDG160A-C是*专为高要求应用（例如氧化，扩散和LPCVD）而设计的*无金属160oC温控电容膜片真空计，所有暴露于真空的表面（例如管件，等离子屏蔽和污染保护罩）均由耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷构成，避免来自真空计规管的潜在性金属污染。

SKY AllCeramic CDG160A-C集成CDG160A系列真空计验证的传感器技术，在LPCVD和其它苛刻的半导体制造应用中达到高可靠和重复性的性能要求。

CDG160A-C/CDG160A-CSINFICON SKY电容膜片真空计

优势：

1、          防止金属污染的无金属超纯陶瓷结构。

2、          温度控制于160^oC,防止过程产物和副产物的凝聚。

3、          小型的结构节省可贵的空间和简化工具集成。

4、          高环境温度适用性。

5、          带有附加保护性屏蔽（Suprashield）的增强型微粒保护室，降低真空计规管污染的可能性。

6、          *的陶瓷传感器结构，具有*稳定性的高重复和高精度测量。

7、          可选投点和状态指示，提供附加的控制和安全功能。

CDG160A-C/CDG160A-CSINFICON SKY电容膜片真空计

用途：

1、          氧化，扩散和LPCVD过程。

2、          其它要求无金属的真空测量。