HMDS蒸镀系统，无尘HMDS烤箱概述

HMDS蒸镀系统，无尘HMDS烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

特点

Ø  更加节省药液：实践证明，用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多。

Ø  更加环保和安全：HMDS是有毒化学药品，人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、呼吸道等，由于整个过程是在密闭的环境下完成的，所以不会有人接触到药液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机，所以也不会对环境造成污染。 

Ø  自动吸取HMDS功能：智能型的程式设定，一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。

技术参数

Ø  材质： 外箱采用304不锈钢或优质冷轧板喷塑，内箱采用316L医用级不锈钢

Ø  电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ       总功率约2.5KW   

Ø  控制仪表：人机界面

Ø  搁板层数：2层

Ø  HMDS控制：可控制HMDS药液的添加量

Ø  真空泵：旋片式油泵或进口无油泵

Ø  保护装置： 超温保护，漏电保护，过热保护等

Ø  加热系统：由于工艺的整个过程都需要在200℃左右的环境下进行，所以自始至终加热系统都在工作。本系统采用在腔内分布两块独立的热板来实现加热，每个热板都采用人工智能PID调节仪实现闭环控制，调节仪控制固态继电器的输出从而实现温度的精确稳定控制，测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。