无尘室干燥箱，试验用百级烤箱概述

   百级洁净烤箱也称作无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤、工装夹具烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

无尘室干燥箱，试验用百级烤箱特点

Ø 在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。

技术参数

主要技术指标

Ø 无尘等级：Class 100;     

Ø 温度范围：RT+10～200、300℃；

Ø 温度均匀度：±2℃;    

Ø 温度波动度：±0.5℃；        

Ø 温控精度：±0.1℃;

Ø 进风口：N2进气、流量计控制;

Ø 排风口：排风管;     

Ø 电源：380v , 50Hz；

Ø保护装置：超温保护，漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温保护装置、 电热过电流保护装置、马达过电流保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器、门面安全开关。   

Ø 网板：2-5层，不锈钢加工圆孔托盘；

Ø 洁净度：100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。

无氧烤箱，智能无氧烤箱

一．无氧烤箱，智能无氧烤箱概述
       无氧化烤箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱箱在工业中的用途：IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板等。智能无氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM的通用SECS-II消息进行监控和控制。
      智能制造主要指生产线现场的生产过程管理、现场监控和控制等，包括智能工厂生产过程的数据采集及分析，实现生产过程、设备、资源监控的可操作和可视化；要能支持采集不同现场设备数据的要求，支持将生产数据及设备故障信息显示在监控站的屏幕上，实现生产过程的动态监控与管理；实现智能设备、机器人和生产线、用户全流程互联对话，实现人机、机机互联下的高品质、高效、柔性自动化生产等。
二．无氧烤箱，智能无氧烤箱技术参数
1、主要技术指标
Ø 含氧量：<100/50/20ppm;
Ø 温度范围： RT（室温）+10～ +200/450℃；
Ø 温度均匀度：±1℃;
Ø 温度波动度：±0.5℃;（空载）
Ø 温控精度：0.1℃;
Ø 烘箱搁板为活动形式;
2、箱体结构
Ø 外壳材料：优质冷轧板，表面磷化处理后平光漆
Ø 内胆材料：优质镜面不锈钢满焊制作
Ø 隔  板：2-5层不锈钢网版
Ø 保温材料：厚度90毫米硅酸铝保温棉，保温性能良好
Ø 温控装置：智能LED双数显高精度温度控制系统，控温精度±1℃，温度为室温至300℃任意调节，并具有PID自整定，自动恒温等功能
Ø 超温保护:独立配置超温保护仪，超过温度上限，自动报警并主动切断加热
Ø 固态输出：SSR无触点继电器模块，灵敏度高，寿命长
Ø 测温装置：不锈钢铠甲PT100传感器、K分度热电偶传感器，精确测温，放心使用
Ø 定时装置：高精度数显自动定时器，0-99.99小时恒温时间设定，可预设烘烤时间
Ø 报警系统：APT/AD16型声光报警系统，时间到声光报警并自动切断加热
Ø 电器元件：采用电器
Ø 安全装置：漏电，短路，过载保护；鼓风电机过载缺相保护
三．无氧烤箱，智能无氧烤箱运行监控分析技术
      智能无尘烤箱运行监控分析技术，通过物联网向制造企业提供针对产品的远程智能服务，包括远程监控、远程预警、远程维护、数据分析等。智能服务拓展到产品的全生命周期管理。产品智能化服务系统包括产品远程监护与维护平台、基于大数据挖掘的产品使用分析系统、智能APP自助服务系统，实现功能包括以下几类：
●  对各类产品的多种数据进行采集、存储；
●  及时分析用户使用典型行为；
● 为客户提供优化解决方案及实时监控产品使用情况的综合服务；
● 产品智能化服务的成功应用可以大大提高工作效率，服务维护成本显著降低，产品差异化程度提升。