晶圆无氧化烘箱，蓝宝石厌氧烘箱简介：
  充氮厌氧烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内持续充氮，使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。
晶圆无氧化烘箱，蓝宝石厌氧烘箱特点
1、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2、耐高温，可以达到和工作场同样的地洁净等级；
GB/T11158-1989高温试验箱技术条件 
GB2423.2-1989试验B
洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。 
洁净烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。
技术参数：
1.名称：充氮厌氧烘箱 
2、主要技术指标：
2.1温度范围： RT（室温）+10～ +200℃；
2.2温度偏差：≤±2.0℃；
2.3升温速度：≥5℃/min（全程平均）；
2.4工作尺寸：W800×H800×D1000mm
2.5电源：AC380V 50HZ 12KW 
厌氧烘箱，无氧化烘箱结构：
3.1箱体材料：外箱采用优质磁性拉丝不锈钢；
3.2内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢；
3.3保温材料：超细玻璃棉； 
3.4排 气 口：ф50；
3.5 隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG；
3.6空气循环装置：大容量轴流电机；
3.7加热方式：不锈钢电加热器；
厌氧烘箱，无氧化烘箱温控系统
4.1温度测量传感器：Pt100 铂电阻；
4.2控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
4.3超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
4.4控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；