臭氧作为强氧化剂、催化剂和精制剂而应用于化工、石油、造纸、纺织和制药、香料工业。
臭氧的强氧化能力很容易打断烯烃、炔烃类有机物的碳链结合键，使其部分氧化后组合成新的化合物。

在化工行业中，香料厂利用臭氧代替*等氧化剂，可使产品质量提高，成本下降，并减少环境污染。

新型材料炭素纤维经臭氧表面处理后品质提高，塑料薄膜经臭氧处理后提高了表面印刷着色能力，臭氧纸浆漂白在挪威已发展到生产验证阶段。

在生物方面、化学污染气体净化方面，臭氧发挥了重要作用。皮毛、肠衣与鱼类加工厂的恶臭；橡胶、化工厂的污染气体均可通过臭氧分解除味。英国把臭氧与紫外线共同作用作为处理化学污染气体的优选技术，一些应用取得了很好的效果。我国的科研单位也成功地应用臭氧处理橡胶硫化生产的污染气体，净化了环境。

臭氧可氧化分解芥子气等化学毒剂，作为化学战污染物品专用消毒设备的臭氧发生器获得全军科技进步二等奖。

臭氧对农药的合成产生催化作用，对某些农药的残留又可以氧化分解。医学研究所对臭氧去除农药残留污染进行了深入研究，肯定了臭氧的良好作用。
臭氧在化工方面起到的催化作用研究将不断进行，实现臭氧发生器应用到更多的领域。