OLYMPUS 奥林巴斯半导体显微镜BX53M

为工业和材料学应用而设计

OLYMPUS 奥林巴斯半导体显微镜BX53M系列采用了模块化设计，为广泛的材料学和工业应用提供了多样化的解决方案。
BX53M改进了与奥林巴斯Stream软件的集成性，从而为常规显微镜检查和数码成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程

高级的显微观察 便捷的显微操作

用户友好性

简单的、向导式的显微镜操作设置，使用户更容易进行调节，并复制系统设置

功能性

BX53M为传统的工业显微镜检查而设计，并扩展了其功能，以满足更广泛的应用和检查技术的要求。

精密的光学元件

奥林巴斯公司具有生产高质量光学元件的悠久历史，无论用目镜观察，还是通过显示器观察，都具备*的图像画质。

全面可定制性

模块化设计可以为用户灵活地构建满足其特殊要求的系统。

直观的显微镜控制舒适而便于使用

显微检查任务常常需要用很长的时间来调节显微镜设置、获取图像，以及进行必要的测量，
从而得到令人满意的报告。用户有时需要投入时间和金钱去完成专业的显微镜培训，或只
了解了显微镜全部功能的很小部分就开展工作。
BX3M通过其优良的设计和便捷的控制功能，简化了复杂的显微检查任务。用户不需要长时
间的培训即可掌握显微镜的大多数功能。BX3M方便而舒适的操作还改善了图像的再现性，
zui大程度减少了人为错误。

简单的照明器：传统技术易于操作

照明器的设计zui大程度减少了显微镜操作过程中通常所必须的复杂操作。照明器前端的旋钮使用户能够轻松地改变观察方法。操作者可以在反射光显微镜检查时快速切换zui常用的观察方法，比如从明场观察到暗场观察，到偏光观察，以随时改变不同类型的分析。此外，旋转检偏镜即可调节简单的偏光观察。

直观的显微镜控制

使用正确的孔径光阑和视场光阑设置能够获得良好的图像对比度，还可以充分利用物镜的数值孔径。指示标志可引导用户根据观察方法和所用物镜进行正确的设置。

对焦刻度标尺：快速找到焦点

机架上的对焦刻度标尺支持快速锁定焦点。操作者可以大致地对准焦点，而不用通过目镜查看样品，从而在检查具有不同高度的样品时节省了时间。

针对各种检查和分析任务的功能

保留了常规显微镜检查的传统衬度对比法，比如明场、暗场、偏光和微分干涉。随着
新材料的发展，现在可以使用*的显微镜检查技术来进行更精确和更可靠的检查，从而解
决了以往很多使用传统衬度对比法检查时遇到的缺陷检测方面的困难。新的照明技术和奥林
巴斯Stream图像分析软件内的图像获取选项为用户提供了评估样品、文档记录的更多选择。
此外，BX3M还可用于比传统型号更大、更重、更特殊的样品。

容纳丰富多样的样品可以容纳更多的样品类型和尺寸

新型150×100mm载物台在X方向上提供了比以前的型号更大的行程。再加上其载物台板的平板式设计，可以轻松地将大样品，或多个样品放置在载物台上。载物台板上开有小孔，可用于固定样品架。更大的载物台为用户提供了灵活性，使他们能够在一台显微镜上检查更多的样品，从而节省了宝贵的实验室空间。可调节扭力的载物台方便了高倍下窄视野的微调定位。

样品高度和重量的灵活性

使用选配的模块组件可以将zui高105mm的样品放置在载物台上。由于改

进了调焦机构，因此显微镜可以容纳zui重6kg的总重量（样品+载物台）。这就意味着BX3M可以检查更大、更
重的样品，从而减少了实验室内所需的显微镜数量。通过战略性地将用于6英寸晶圆的旋转托架放置在偏离中心的位置，在100mm行程范围内移动时，用户仅旋转晶圆托架即可观察整个晶圆表面。优化了载物台的扭力调节，以便于使用，舒适的手柄使用户更易于找到样品的感兴趣区域。

样品尺寸大小的灵活性

如果样品太大，难以放置在常规显微镜载物台上，则可以把用于反射光显微镜观察的核心光学部件组装到一个模块化的系统里。这种模块化系统，就是BXFM，它可以通过一个支撑杆安装在更大的支架上，或使用安装托架安装在另一台仪器上。这就使用户能够充分利用奥林巴斯优异的光学元件的优势，即使其样品在尺寸或形状上都很*。