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洁净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。
系统参数:
VMVD-101A,极限真空度4×10-1Pa,排气速度95m3/h
VMVD-301A,极限真空度4×10-1Pa,排气速度250m3/h
VMVD-601A,极限真空度4×10-1Pa,排气速度550m3/h
VMVS-601A,极限真空度6.7×10-1Pa,排气速度550m3/h
VMVS-1201A,极限真空度6.7×10-1Pa,排气速度850m3/h
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8×10-2Pa的真空控制器,