Solarius Atlas三维形貌轮廓测量是应用于品保和过程控制的独立模块化表面3D测量设备。基于用户的的具体需求，Atlas可配备不同类型3D表面测量传感器，从而使其成为满足各种测量要求的理想设备。基于Atlas强大的灵活性，各种不同的材料以及复杂的几何结构都能被精确扫描。Atlas的软件系统支持生产环境下的自动化高效测量。其软件解决方案结合了两种软件工具：一种是可编程的测量工具，另一种是高灵活性的分析软件。这种*的集成方式是研发、失效分析和小批量半自动量测的理想配置。
易于自动化
极速测量
灵活多样的传感器配置
大测量平台
定制化测量程序
灵活的分析工具
Solarius Atlas三维形貌轮廓测量平台是一套配置隔震装置的独立系统，其平面测量范围高达400x400mm。根据需求可配置共聚焦、白光干涉及线激光三角传感器；对应不同类型的传感器，其高度方向的分辨率范围从10nm至200um。其中白光干涉传感器能够以高达4um的分辨率在0.13s内完成80,000点的高速扫描。Atlas在数据采集以及分析上提供多种软件选项，其中包括一套用于自动化批量重复测量的程序创建和管理工具。