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μsurf 移动3D共聚焦显微镜光学测量系统是针对大型物体检测（如轧辊和车身）而研发的。本系统以稳定的的μsurf共聚焦技术为基础，因此它适用于严苛的生产环境。全套设备只有5.5kg，因此可以放在移动式运输箱里并使用任何汽车进行搬运。到达现场后，这套系统只需要几分钟的准备时间就能投入使用。
μsurf 移动3D共聚焦显微镜的粗糙度测量结果遵循DIN,EN,ISO等标准，可以分析三维形貌和测量微观尺寸并自动得出形状结构和体积参数，测量结果会被转移到一个可自由定义的分析软件中进行进一步处理。在轧辊性能检测中，它表面的纹理和缺陷能够被精确的检测和评估。这项技术已经在许多企业里得到成功的应用，这些企业涵盖汽车行业、印刷和造纸行业、医疗技术行业、微电子技术行业；同样，我们的技术同样应用在众多研究机构。
| 图像采集模块 | 采用*扫描技术的高速数字相机扫描，高达55帧/秒， 512x512像素，10位，火线接口 |
光源 | 高性能LED灯（λ=505nm），平均*时间：50000h |
X、Y轴模块MN50 | 精密定位模块，X、Y轴测量范围：50x50mm2 |
Z轴模块MN35 | 精密扫描模块，行程：35mm |
| Z轴模块NV250 | 高速超高精度扫描模块（压电模块），行程：250μm， 分辨率＜10nm |
| 外围装置及控制器 | 台式机/笔记本/桌上型台式机，Windows XP专业版，4GB RAM，火线接口，DVD光驱，以太网络，3D导航器，集 成的移动便携式运输箱 |
| 底座 | 为了检测轧辊表面形貌，设计了特殊的底座，用于测量直 径＞200mm的轧辊 |
| μsorft控制系统 | NanoFocus的测量分析软件能根据ISO制定的粗糙度标准，进行自动测量控制，设定测量参数，分析2D和3D测量数据。例如：剖视图、2D观测、3D结构重建、反射图像、共焦曲线。 |
| 拼接模块 | μsorft控制系统插件，用于扩大测量范围 |
| μsorft分析系统（选配） | 用于分析3D测量数据的软件，有布局功能，有用于系列 产品测量分析的模块 |
文件大小/文件格式 | 大小：单次测量约0.8MB； 格式：NMS,OMS,ACLL,SDF,TIF,BMP,X3P |
通常测量时间 | 5-10秒，取决于共焦图像数量 |
| 样品材质 | 反射率：1-100%，有涂层，无涂层，镜面反射，漫反射 |
| 减震系统 | 绝大多数测量都不需要再加另外减震器 |
| 电源 | 90-265V，频率50-60HZ，输入电路＜50W 选配：铅蓄电池 |
| 电线长度 | 测量装置电线：6m，电源电线：10m（包含内部线圈） |
| 重量/外形尺寸 | 测量装置：5.5kg，380x110x155mm(长x宽x高) 收纳集装箱：25kg，460x360x700mm(长x宽x高) |
| 其他参数 | 防护等级：IP 52 |
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