CNC视频图象坐标测量仪

尼康NEXIV VMR-K3040ZC视频图象坐标测量仪

这是一款共聚焦（Confocal）型的视频图象坐标测量仪，它能够在同一视场内，同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测IC封装的立体形状。

1、2、3 型

利用共聚焦光路，实现大视场、高速、高精度的微观高度测量；

在同一视场内，能够同时完成二维平面和一维高度的高精度测量；

同时拥有普通机型的15倍高速CNC变焦光学系统，可以进行明暗场图象的二维几何测量；

8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置；

通过对硅片尺寸、芯片尺寸、芯片间隔的，可以按图定位测量其中的任意一个芯片；

具有等高线显示、鸟瞰显示等选配功能。

应用领域：
硅片级芯片封装（二维＋高度）、MEMS、Probe Card等。

明场

共聚焦

合成效果