PECVD管式炉

GLJZ1200PECVD管式炉

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具体成交价以合同协议为准
2022-06-02 17:40:02
42
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上海精钊机械设备有限公司

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产品简介

PECVD管式炉GLJZ1200,Z高温度1200℃,常用温度1000℃。温区440,恒温区260mm,小巧美观,质量上乘,售后服务到位

详细介绍

 PECVD管式炉GLJZ1200,温度1200℃,常用温度1000℃。温区440,恒温区260mm,小巧美观,质量上乘,售后服务到位。     

PECVD管式炉GLJZ1200技术参数如下:

1

产品名称

1200℃ 开启式管式炉

2

产品型号

GZJZ1200

3

炉膛模式

开启式

4

显示模式

高亮度LED数码管

5

炉膛材料

氧化铝纤维

6

加热元件

掺钼的铁铬铝合金加热丝(OCr27Al7Mo2)

7

极限温度

1200℃

8

工作温度

≤1150℃

9

升温速率

≤20℃ (建议:10℃/min)

10

加热温区

单温区

11

温区长度

440mm

12

恒温区长

260mm

13

炉管材质

高纯石英

14

炉管直径

60mm(炉管内径:54mm)

15

炉管长度

1000mm

16

密封方式

真空法兰

17

气 密 性

9.8×10-4Pa

18

控制模式

智能PID

19

控温精度

±1℃

20

温度曲线

30段"时间—温度曲线"任意可设

21

超温报警

22

过流保护

23

断偶提示

24

测温元件

K型热电偶

25

供电电源

220V 50Hz

26

额定功率

3.2KW

27

外形尺寸

630×470×610 mm

28

售后服务

12个月质保,终身保修

29

包装形式

三合板木质包装箱

30

随机配件

石英炉管;真空法兰;炉管堵塞;O型密封圈;防护手套;坩埚炉钩;说明书。

 

GLJZ1200真空泵配置:

商品简述:

该系统真空部分由高速直联(电机直接驱动)双级旋片油封式变容真空泵,及外围真空组件连接而成,可作为中、低真空系统的主抽泵,也可作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等中高真空、超高真空系统的前级泵。并配有油雾过滤器及防反油装置。

 

主要特点:

1. 内装强制油泵,润滑充分,性能可靠;

2. 防止返油机构可靠,不返油;

3. 运行在气镇时,仍保持高的真空;

4. 抽除水蒸气能力强;

技术参数:

型号

CHY-4C

抽速
m/h(L/s)

50Hz

4(1.1)

60Hz

4.8(1.3)

极限分压强-无气镇
(Pa)

5×10-2

极限总压强-无气镇
(Pa)

5×10-1

极限总压强-有气镇
(Pa)

3

电源

AC220V

电机功率
(KW)

0.4/0.37

进排气连接口
DN(mm)

KF16/25

用油量
(L)

0.6~1

电机转速
(rpm)

50Hz

1440

60Hz

1720

该款浮子流量计主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境。

技术参数:

产品名称

四路浮子气体配比器

产品型号

CHY-4F

流量计类型

浮子流量计

流量计管芯

304不锈钢

管道常态

常闭

流量计外壳

有机玻璃

气体种类

4

接口尺寸

1/4"

压力范围

-0.1-0.15 MPa

A路气体测量范围

10~100ml

B路气体测量范围

16~160ml

C路气体测量范围

25~250ml

D路气体测量范围

60~600ml

流量控制范围

2%~100%

工作环境温度

(15~50℃)

精度保证温度

(15~35℃)

外形尺寸

L700×W600×H580

设备重量

43kg

 

 

 

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