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Newport光学平台非磁性气动隔振器支腿
类型 Non-Magnetic Pneumatic Vibration Isolator
单个隔离器负载 2000 lb (900 kg)
是否含连杆法兰 No
是否含浮起高度指示器 Yes
自动定心 Yes
高度调节 1.3 in. (33 mm)
水平共振频率 1.5 Hz
共振时的水平放大率 9 dB
水平隔振,5 Hz 85%
水平隔振,10 Hz 95%
垂直共振频率 1 Hz
共振时的垂直放大率 10 dB
垂直隔振,5 Hz 94%
垂直隔振,10 Hz 98%
非磁性设计与结构
S-2000AN 系列非磁性气浮隔振腿由铝制成,所有内部零件由非磁性 316 不锈钢制成。垫片由 304 不锈钢制成。所有紧固件均由标准不锈钢制成。调平阀由铝和非磁性 316 不锈钢制成。
层流技术提高阻尼效率
除了低固有频率,隔振器性能的另一个指标是阻尼效率。它与通过阻尼器的气流和压降成正比。与其他同类产品的单孔或细管设计相比,Newport 在隔振器设计中du家引入了层流阻尼元件,大大提高了阻尼效率。连接两个室的层流盘在活塞运动和阻尼室气流之间形成更好的联系。这对于给定的活塞位移可以产生更高的阻尼力以获得更快、更有效的阻尼。它还降低了共振的放大率,并优化了隔振带宽和稳定时间。S-2000A 还使用定制的超软膜片来降低刚度,从而进一步提高垂直隔振性能。
高精度调平阀
S-2000A 上的自动调平功能将其与其他气动解决方案区别开来,使其可以准确、快速地重新调平整个平台系统。Newport 的 * 系列调平阀提供各种阀门选项,包括受欢迎的 *-S1,其可重复性标准为 ±0.010 英寸 (0.25 mm),以及用于实现更好的高频隔振的低增益版本,和用于实现更短重新调平时间的高增益版本,但是它在高频隔振中效果略有下降。Newport 还提供高精度版本,用于实现更高的重新调平精度,优于 ±0.002 英寸。