品牌
代理商厂商性质
青岛市所在地
Newport 电动倾斜对准位移台
8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其小的回差,它具有良好的*稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试,并在85°C的温度下,在超过3小时的时间内,其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆,两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。
机制Kinematic
驱动方式Picomotor
行程范围3 mm
角度范围θx=8°, θy=10°
负载13 N
小位移增量<30 nm
角分辨率θx, θy≤0.7 µrad
真空兼容性10-9 Torr
线缆类型Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated
端口类型DB15 Female
工作温度10 to 40°C
螺纹类型M4 and M6 8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用,通过电动每一个轴,现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其小的回差,它具有良好的*稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试,并在85°C的温度下,在超过3小时的时间内,其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆,两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。