Newport 精密紧凑型电动线性位移台

VP-25X 系列采用紧凑型封装铝制机身，具有 25 mm 行程、出色的 MIM 和位置稳定性。类似于其他系列的线性位移台，VP-25X 还具有循环滚珠轴承、无侧隙滚珠丝杠和线性钢尺。应用包括：光纤对准、生物医学、半导体以及高精度测试和测量。

• 易于进行 XY 和 XYZ 配置
• 灵敏度高，10 nm 增量运动
• 厚度薄、结构紧凑且重量轻
• 便捷的手动调节旋钮
• 内置线性编码器，可实现高度可重复且精确的运动
• 即插即用 - ESP 兼容

  Newport 精密紧凑型电动线性位移台技术参数

• 电动轴

  X

• 行程范围

  25 mm

• 大速度

  25 mm/s

• 小位移增量

  0.10 µm

• 中心负载

  60 N

• 轴向负载 (+Cx)

  40 N

• 逆轴向负载 (-Cx)

  -40 N

• 精度，典型值

  ±0.4 µm

• 精度，保证值

  ±1.0 µm

• 双向重复精度，典型值

  ±0.06 µm

• 双向重复精度，保证值

  ±0.10 µm

• 俯仰，典型值

  ±22 µrad

• 俯仰，保证值

  ±50 µrad

• 俯仰顺应性

  20 µrad/Nm  

• 偏摆，典型值

  ±17 µrad

• 偏摆，保证值

  ±50 µrad

• 偏摆顺应性

  30 µrad/Nm  

• 滚转顺应性

  20 µrad/Nm  

• 原点重复精度

  ±0.1 µm

• 电缆长度

  1.5 m  

• 端口类型

  DB25 Male

• 螺纹类型

  M4 and M6

• 重量

  1.5 kg  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

• RoHS

  Compliant

• 兼容的探头

  SMC100CC

•