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双侧滑轨式快速退火炉1200℃
主要用途：主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。
产品用途：
主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长，其它快速热处理工艺。
双侧滑轨式快速退火炉1200℃
产品结构：
1、采用进口钨灯管为发热元件，升温速度高达200℃/s;
2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，内有进口氧化铝涂层，抗热冲击；
3、保护管采用高纯石英管 ，可冲入多种气体；
4、石英管两端采用不锈钢密封法兰，耐高温、耐腐蚀；
5、滑轨采用铝合金*滑道；
6、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；
8、选配无纸记录仪，记录、存储、显示当前或历史温度曲线，也可通过U盘转存入电脑。
9、选配西尼特智能温控软件，通过电脑进行全程操作；
10、使用温度超过900℃请接冷却水，以免密封圈受损；
技术参数 | ||||||
产品名称 | 单位 | 型号 | ||||
HY-5-10 | HY-6-10 | HY-7-10 | HY-9-10 | HY-10-10 | ||
额定功率 | kw | 9 | 9 | 9 | 9 | 9 |
额定电压 | v | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 |
温度 | ℃ | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
工作温度 | ℃ | ≤950 | ≤950 | ≤950 | ≤950 | ≤950 |
相数 | 相 | 三 | 三 | 三 | 三 | 三 |
加热区 | mm | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
石英管 | 直径 | Φ50 | Φ60 | Φ70/80 | Φ90 | Φ100 |
长度 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | |
保护气体 |
| 氮气 氩气 | 氮气 氩气 | 氮气 氩气 | 氮气 氩气 | 氮气 氩气 |
流量计种类 |
| 浮子流量计 | 浮子流量计 | 浮子流量计 | 浮子流量计 | 浮子流量计 |
炉膛材料 |
| 进口纤维 | 进口纤维 | 进口纤维 | 进口纤维 | 进口纤维 |
加热元件 |
| 碘钨灯 | 碘钨灯 | 碘钨灯 | 碘钨灯 | 碘钨灯 |
移动间距 | mm | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
滑轨长度 | mm | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 |
炉体尺寸 | 长宽高 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 |
真空度 | 可选机械泵（6.67pa）或扩散泵（6.67*10-2） | |||||
标配件 | 高温钩，高温堵头，石英舟，高温手套。 | |||||
