HLCVD六温区真空管式炉直径50*温区200*200*200*200*200*200*使用温度200-1100℃温度1200℃温控30段智能温控， 控制 自动升温，自动降温，壳体设计电炉壳体采用双层强制风冷构造，使电炉在温度工作时炉壳外部温度接近室温可通气体有惰性气体 混合性气体 氮气  氧气 水蒸气等……升温速率≤0~ 20.C/ min温控安全电炉采用集成化电路，模块控制、双回路保护（偏温保护、超高温保护、断偶保护、超流保护、超压保护）控温度±1℃炉温均匀性≤±5真空泵机械泵炉膛材质高密度氧化铝陶瓷纤维炉膛设计炉膛采用台阶式拼装结构，融合了力学定律，有效的保证了炉膛在加热过程中受力均匀，保障了热能不易散失，延长了炉膛的使用寿命。CVD六温区真空管式炉:平行式可开启设计,分六个温区每个温区各200mm  管径直径为：50mm。每个温区可单独控温，加热原料为进口电阻丝炉膛，容样品材料为高纯度石英管 耐腐蚀性好。长时间工作温度可达1150℃ 两端用304不透钢法兰1套，配置机械泵1台，一套四路质子流量计。