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新一代高性能激光浮区法单晶炉(LFZ)
Laser Floating Zone Crystal Furnace (LFZ)
产品简介
Quantum Design Japan公司推出的激光浮区法单晶生长系统传承日本理化研究所(RIKEN,CEMS)的*设计理念,新一代高性能激光浮区炉(型号:LFZ-2kW)具有更高功率、更加均匀的能量分布和更加稳定的性能,将浮区法晶体生长技术推向一个全新的高度!
应用领域
可广泛用于凝聚态物理、化学、半导体、光学等多种学科领域相关单晶材料制备,尤其适合高饱和蒸汽压、高熔点材料及高热导率材料等常规浮区法单晶炉难以胜任的单晶生长工作。
激光浮区法单晶生长系统可广泛用于凝聚态物理、化学、半导体、光学等多种学科领域相关单晶材料制备,尤其适合高饱和蒸汽压、高熔点材料及高热导率材料等常规浮区法单晶炉难以胜任的单晶生长工作,跟传统的激光浮区法单晶生长系统相比,Quantum Design公司推出的新一代激光浮区法单晶炉系统具有以下技术优势:
► 采用全新五束激光设计,确保熔区能量分布更加均匀
► 更加科学的激光光斑优化方案,有助于降低晶体生长过程中的热应力
► 采用了*的实时温度集成控制系统
RIKEN(CEMS)设计的五束激光发生器原型机实物
新一代激光浮区法单晶炉系统主要技术参数:
加热控制 | 加热类型 | 5束激光 |
激光功率 | 2KW | |
熔区高温: | 2700℃~3000℃* | |
测温范围 | 1000℃~2700℃ | |
温度稳定性 | +/-1℃ | |
晶体生长控制 | 晶体生长大设计长度 | 150mm* |
晶体生长大设计直径 | 8mm* | |
晶体生长大速度/转速 | 300mm/hr; 100rpm | |
样品腔可施加大压力 | 10bar | |
样品腔气氛 | 多种气路(O2/Ar/混合气)可供选配 | |
晶体生长监控 | 高清摄像头 | |
晶体生长控制 | PC控制 |
*具体取决于材料及实验条件
采用新一代激光浮区法单晶炉系统生长出的部分单晶体应用案例:
* 以上单晶图片由 Dr. Y. Kaneko (RIKEN CEMS) 提供