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皮米精度激光干涉仪IDS 3010(NEW)
德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，于近推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于环境如高真空与高辐射环境并且具有*精度与*采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。
| + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成 + 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面 + 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz + 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度 + 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm） + 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm |
IDS 3010激光探头技术参数表
IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。
探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。
激光探头 | |||||
型号 | 尺寸mm (直径与长) | 工作距离 (低反射， 高反射材料） | 激光类型 （聚焦、准直） | 光斑 大小
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| D1.2/F7
| φ 1.2; 7.5 | 5-9 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70mm@7mm |
| D4/F8
| φ 4; 11.5 | 6-10 mm， 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70mm@8mm |
| D4/F13
| φ 4; 11.5 | 11-15 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70mm@13mm |
| D12/F2.8
| φ 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2mm@ 2.8mm |
| M12/C1.6
| φ 14; 17.4 | 0-1000 mm | 准直 | 1.6mm |
| M15.5/C1.6
| φ 22; 20.6 | 0-1000 mm | 准直 | 1.6mm |
| M12/C7.6
| φ 14; 49.3 | 0-5000 mm | 准直 | 7.6mm |
IDS 3010主机尺寸与接口
实验数据，皮米精度的稳定性 |
测量速度快，定位样品采样带宽10MHz
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上图，77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55 pm！ | 上图，样品移动速度2米/秒，移动范围1m。 |
皮米精度激光干涉仪IDS 3010应用案例
1. 激光干涉仪检测纳米精度位移台
2. 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜
3. 激光干涉仪无损探测轴承误差
4. 激光干涉仪校正极低温非线性扫描
国内外用户名单(排名不分先后)
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