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TN-G1700S三温区三路气体CVD系统
三温区管式炉主要用途:陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。
TN-G1700S三温区三路气体CVD系统
三温区管式炉主要功能和特点:
1.设备的控制系统具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空等。
三温区管式炉技术参数:
1 | 产品型号 | TN-G1700S |
2 | 炉 膛 | 高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好。 |
3 | 炉管尺寸 | Φ60×1200mm |
4 | 加热元件 | 温区1温区3-硅碳棒,温区2硅钼棒 |
5 | 测温元件 | 温区1温区3 S级, 温区2 B级 |
6 | 控温方式 | 温度控制采用三个高精度30段数字控温仪控制,具有PID调节、自整定功能,30段升降温程序 |
7 | 密封方式 | 不锈钢法兰密封 |
8 | 真空系统 | 高真空系统组(达到技术要求) |
9 | 工作温度 | 温区1温区3≤1400℃ 温区2≤1700℃ |
10 | 温度 | 温区1温区3≤1450℃ 温区2≤1750℃ |
11 | 恒温精度 | ±1℃ |
12 | 恒温区长度 | 总加热区长度不小于 25〞 |
13 | 建议升温速度 | 温区1温区3 20℃/min 温区2 10℃/min |
14 | 气体流量系统 | 三通道质量流量控制系统(达到技术要求) |
15 | 额定功率 | 10KW |
16 | 工作电源 | AC220V/50HZ/60HZ |
17 | 标准配件 | 三温区管式炉 1台,高真空系统 1套,三通道质量流量控制系统 1套,原厂配置管式炉架 1个 |
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