徕卡多功能离子减薄仪 Leica EM RES102的优势

主要技术参数：

· 具有2把离子枪，离子束能量为0.8keV-10keV，相对位置，可分别±45°倾斜，样品台倾斜角度-120°至 210°，离子束加工角度0°至90°，样品

平面摆动角度<360°，垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择（系统备有参考参数，也可自行设置参数并存储）

· 可选配样品台：TEM样品台（?3.0mm或?2.3mm），FIB样品清洗台，SEM样品台，斜坡切割样品台（对样品35°或90°斜坡切割）等

· SEM样品台可容纳zui大样品尺寸：直径25mm，高度12mm

· 全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时间<1分钟

· 全电脑控制，触摸屏操作界面，内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程