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徕卡多功能离子减薄仪 Leica EM RES102的优势
主要技术参数:
· 具有2把离子枪,离子束能量为0.8keV-10keV,相对位置,可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至 210°,离子束加工角度0°至90°,样品
平面摆动角度<360°,垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择(系统备有参考参数,也可自行设置参数并存储)
· 可选配样品台:TEM样品台(?3.0mm或?2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台(对样品35°或90°斜坡切割)等
· SEM样品台可容纳zui大样品尺寸:直径25mm,高度12mm
· 全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间<1分钟
· 全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程