尼康金相显微镜采用尼康专有的CFI60光学系统，提供高清晰度，对比度和透射率。增强EPI-365nm紫外线激发荧光功能，使出色适合半导体残留在300mm晶圆上和有机电致发光显示器的检查。图像亮度已显着提高，传统的显微镜相比，这些显微镜系列适合各种检查。

　　尼康金相显微镜主要特点

　　•专为300mm晶圆和光罩检测

　　•利用更高的分辨率，对比度和透射CFI60光学系统

　　•更高的亮度比传统的显微镜

　　•新光源和四次美好的透射照明，光学设计结果

　　•预中心的灯箱提供更高的亮度，同时仅消耗一半的电力，并减少热致离焦

　　•电动物镜转换器比传统模式更耐用三倍

　　应用

　　•晶圆

　　•液晶显示器

　　•其他各种检查

　　两种机型可供选择

　　•L300N：Episcopic照明类型

　　 Z大样品尺寸：300mm晶圆

　　*阶段行程：354x302毫米

　　放大倍率范围：15X-2000X（目镜和目标而定）

　　•L300ND：透射/Episcopic照明类型

　　Z大样品尺寸：17英寸平板显示器（FPD）

　　*阶段行程：354x302毫米（透射照明范围：354x268毫米）

　　放大倍率范围：15X-2000X（目镜和目标而定）

　　各种各样的观测技术

　　各种各样的观测技术，如明场，暗场，简单的偏光，DIC和外延flourescence观察，是可能的。采用Epi-flourescence观察，紫外激发可应用于包括300mm晶圆和OLED检查应用。

　　暗场观察

　　新开发的暗场照明光学显着提高图像的亮度和提高分钟内样品的划痕和拓朴的检测能力。

　　明场观察

　　尼康CFI60系统-一个成功合并的CF光学系统无限远光学-高亮度，高对比度的图像。

　　NomarskiDIC的观测

　　尼康L300N/L300ND金相显微镜采用单棱镜（Senarmont）系统，使所有的放大倍率DIC的观察，通过简单地插入物镜转换器单Nomarski棱镜。DIC的图像清晰和与zui小的色调明快，即使在低放大倍率。高对比度型DIC的滑块允许更大的敏感性形成的DIC图像。

　　半兼容设计

　　尼康L300N/L300ND金相显微镜符合半导体设备和材料协会（SEMI）为安全准则（S7-0703）和人体工程学（S8-1103）。由于目镜的位置更贴近运营商，不触摸阶段的运营商，即使是他或她的走向，确保安全，舒适地观看。

　　防静电更强有力的保障

　　静电放电涂料已应用于身体的阶段，镜筒（L2-TT2型），及各种控制。这加强了防止污染的保障，并避免损坏由静电引起的样品，从而有利于单产提高。