该镀膜机为前开门式设计，功能强，镀膜质量稳定，重复性好，操作简便。真空室材料均采用优良材质SUS304不绣钢材料制造，工艺规范，精致，保证了材料的成膜纯度。

采用分子泵+直联机械泵机组，具有抽速快，无油，操作方便快捷，易于维护的特点。

◆ 镀膜方式：可实现多靶共溅模式

◆ 磁控靶：圆柱/平面靶；

◆ 进气系统：三路质量流量计；

◆ 镀膜室体积：500×500×600mm³

◆ 极限真空度：6.7×10^-5Pa; 恢复真空度：从大气抽到6.7×10^-4Pa;﹝40分钟﹞

◆ 真空抽气系统：机械泵与分子泵组成；

◆ 真空测量系统：数显复合真空计；

◆ 工作电源：真流电源500W；射频电源500W﹝13.56MHz﹞；加热控温电源；

◆ 工作烘烤温度：室温～800℃可控可调﹝PID控温﹞；

◆ 选配件：石英晶振测厚仪，冷却水机组等；

◆ 供电电源：三相AC380V，50Hz

◆ 特殊规格可定制。

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