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经济型气体质量流量控制器可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
FMA5400,FMA5500系列
经济型气体质量流量控制器可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
FMA5400,FMA5500系列:经济型气体质量流量控制器可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
NIST可溯源校准
无需温度或压力补偿,即可读取和控制气体质量流量
可选经济实惠的铝质结构和耐腐蚀的316不锈钢结构
LCD显示屏角度可调,方便读数
FMA5400/5500系列电子气体质量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范围内的多种气体的流量。
FMA5400/5500利用通过加热管进行的热传递直接测量气体质量流量,并且无需对(规定限值以内)的气体温度或压力变动进行补偿。
该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质/铜质结构,以及用于有更高耐腐蚀要求应用场合的316不锈钢结构。
不带一体式显示屏的FMA5400系列控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模拟输出,以便进行远程监测;FMA5500系列控制器兼具一体式3½位数字显示屏和模拟输出。
显示屏可倾斜90度,查看读数时很方便,显示屏还经过校准,可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流速,可以通过专门订购来获得其它气体校准。
FMA5400/5500质量流量控制器带有内置式电磁阀,无论入口或出口压力如何变化,都能保持稳定的流速。
设定值可通过电位器(通过壳体上的窗口可调整该电位器)本地控制,或者可以通过0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA(现场可选)模拟信号远程控制。
FMA5400/5500系列控制器需要使用12 ~ 15 Vdc电源(zui大电流800 mA),FMA545PW壁装插接式插座电源可满足其要求,24 Vdc电源输入(zui大电流650 mA)可作为选件提供。
电子装置具备反向极性保护,并配有自恢复保险丝。
型号FMA545C (单独提供)提供了一个带2.4 m (8')屏蔽电缆的插接式15针"D"连接器,可用于模拟输出信号和电源输入连接。
FMA5500系列控制器的LCD通过模块化插头与里面的电子设备相连。
通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD,但是,您必须自行制作面板安装组件以便进行LCD的面板安装。
规格:
精度: 满量程的±1.5%,包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范围内的线性度;对于流量 =100 SLM的控制器,在0 ~ 20%量程范围内精度为满量程的±3%
重复性: 满量程的±0.5%
温度系数: 满量程的0.15%/°C
压力系数: 每psi (0.07 bar)为满量程的0.01%
zui大压降: 50 psid
响应时间:在满量程的25 ~ 100%范围大约5秒达到设定流速的±2%内
zui大气体压力: 35 kg/cm2表压(500 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)zui适宜
气体和环境温度: 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
泄漏完整性: 对于外界环境,zui大泄漏为1 x 10-7 cc/sec氦气
接液材质:
铝质型号: 阳极氧化铝、316不锈钢、铜和氟橡胶O形圈
不锈钢型号: 316不锈钢和氟橡胶O形圈
输出信号:
线性0 ~ 5 Vdc: zui小负载1000 V
4 ~ 20 mA: 环路电阻为50 ~ 500 V,zui大噪声±20 mV
传感器电源: 12 Vdc @ 800 mA
(标配); 24 Vdc @ 650 mA(可选)
量程比: 50:1
运输重量: 1.8 kg (4 lb)
顺从标准: EN55011 1类,B类;EN50082-1
产品型号/产品描述
质量流量控制器带显示,铝质/铜质壳体(可选316不锈钢壳体)
FMA5502 0到10 SCCM量程
FMA5504 0到20的SCCM量程
FMA5506 0到50的SCCM量程
FMA5508 0到100的SCCM量程
FMA5510 0到200的SCCM量程
FMA5512 0至500 SCCM量程
FMA5514 0到1的SLM量程
FMA5516 0到2 SLM量程
FMA5518 0到5 SLM量程
FMA5520 0到10的SLM量程
FMA5523 0到15 SLM量程
FMA5524 0到20的SLM量程
FMA5526 0到30的SLM量程
FMA5527 0到40的SLM量程
FMA5528 0到50 SLM量程
FMA5540 0到60 SLM量程
FMA5541 0到80 SLM量程
FMA5542 0到100 SLM量程
FMA5543 0到200的SLM量程
FMA5544 0到500 SLM量程
FMA5545 0到1000 SLM量程,配有3/4 FNPT连接件,而不是压合接头
质量流量控制器不带显示,铝质/铜质壳体(可选316不锈钢壳体)
FMA5402 0到10的SCCM量程
FMA5404 0到20的SCCM量程
FMA5406 0到50的SCCM量程
FMA5408 0到100的SCCM量程
FMA5410 0到200的SCCM量程
FMA5412 0到500 SCCM量程
FMA5414 0到1的SLM量程
FMA5416 0到2 SLM量程
FMA5418 0到5 SLM量程
FMA5420 0到10的SLM量程
FMA5423 0到15 SLM量程
FMA5424 0到20的SLM量程
FMA5426 0至30的SLM量程
FMA5427 0到40的SLM量程
FMA5428 0到50 SLM量程
FMA5440 0到60 SLM量程
FMA5441 0到80 SLM量程
FMA5442 0到100 SLM量程
FMA5443 0到200的SLM量程
FMA5444 0到500 SLM量程
FMA5445 0到1000 SLM量程
配件
FMA545C 15针D型母连接器,,2.4米(8英尺)屏蔽电缆
FMA545C-10 15针D型母连接器,,3米(10英尺)屏蔽电缆
FMA545C-12 15针D型母连接器,,3.6米(12英尺)屏蔽电缆
FMA545C-18 15针D型母连接器,,5.5米(18英尺)屏蔽电缆
FMA545C-25 15针D型母连接器,,7.6米(25英尺)屏蔽电缆
FMA545PW 插座,用于插头电源为115伏交流电
FMA545PW-220VAC 插座,用于插头电源220 VAC,VDE插头类型
FMA18RC10 10英尺的电缆,用于安装远程LCD
FMA18RC25 25英尺的电缆,用于安装远程LCD
注释: * 配备3⁄4 FNPT连接口代替压合接头。
配备压合接头、NIST证书和操作手册。电源单独销售。
流量范围针对入口压力20 psig、出口压力0 psig时的氮气或空气(zui大流量50 SLM), 或者针对入口压力25 psig、出口压力0 psig时的氮气或空气(流量为60 ~ 100 SLM)。用来 测量其它气体时,要使用倍增系数计算流量,同时必须在现场对数字显示屏重新标定。
要请求进行定制校准,请将该气体的缩略语和入口压力/出口压力作为后缀添加到型号中。
校准仅在环境温度20ºC (70ºF)下进行
欲购24 Vdc电源的控制器,请将后缀"-24VDC"加到型号中(无额外费用)。
欲购用氧气清洗的控制器,请将后缀"02CLEAN"添加到型号中(需付额外费用)。
产品型号说明
(1) (2) (3)
FMA
选项描述
(1) 显示
选择
54 代表 不带显示器
55 代表 带显示屏
(2) 量程代码(见上表)
选择
02 代表 代码02
04 代表 代码04
06 代表 代码06
08 代表 代码08
10 代表 代码10
12 代表 代码12
14 代表 代码14
16 代表 代码16
18 代表 代码18
20 代表 代码20
22 代表 代码22
24 代表 代码24
26 代表 代码26
28 代表 代码28
40 代表 代码40
41 代表 代码41
42 代表 代码42
(3) 壳体
选择
Nothing(leave field blank) 代表 铝/铜体
ST 代表 316不锈钢机身