利用红外光谱中分子振动模的吸收带，可以分析薄膜的组成。此外，载流子浓度可以用傅立叶红外光谱仪FTIR测量。

傅立叶红外光谱仪FTIR*适用

集成赛默飞世尔Thermo Fisher制造的型号FTIR iS50红外光谱仪。它也适用于一般的振动光谱。

光谱椭偏仪SENDIRA用于测量薄膜厚度，折射率，消光系数以及体材料，单层和多层堆叠膜的相关特性。特别是覆盖层下面的层在可见范围内是不透明的，现在也可以进行测量。同时可以分析材料的组成和大分子基团和分子链的走向。

安科瑞泰SENDIRA红外光谱椭偏仪

SENTECH光谱椭偏仪SENDIRA是专门为红外应用(FTIR)设计的。紧凑型测量台包括椭圆仪光学部件，计算机控制角度计，水平样品台，自动准直透镜，商用FTIR和DTGS或MCT探测器。FTIR在400 cm-1 ～6,000 cm-1 (1.7 µm – 25 µm)光谱范围内提供了*的精度和分辨率。

光谱椭偏仪SENDIRA主要用于薄层的振动光谱分析。应用范围从介质膜、TCO、半导体膜到有机膜层。SENDIRA是由SpectraRay/4 软件操作，另外还提供了FTIR软件。