二手电镜：简介
日立新推出的高分辨场发射扫描电镜，1kv的分辨率提升到1.3nm，并在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，*丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。

技术特点：
1. 低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成 

二手电镜：操作事项

 1.1  制备样品  SEM样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。

但需注意以下事项：

 a) 样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形， 没有腐蚀性和放射性。（通常是干燥固体。）

 b) 由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。金膜在一定程度上会影 响样品原有形貌。（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO，只需用导电胶把样品表面连到样品台。）

 c)  由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD）须大于8mm。

  具体操作过程：  

(1) 按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。 

(2) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。） 

(3) 样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，*认真执行。） 

1.2 查看真空度  打开前面板盖，点击MODE按钮直至IP1指示灯闪，在登记表记下MULT INDICATOR数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录。确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1。）

二、 开机操作 

2.1  开机

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a) 开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。

b) 按下位于桌子右上角的显示单元“DISPLAY”开关，

c) 电脑自动启动，根据界面提示按“Ctrl+Alt+Delete”，口令为空，直接Enter进入系 统。系统自动启动程序，口令为空，直接Enter进入程序。按下“—”启动Display 进入程序  

2.2 轰击（flashing）  场效应电子扫描显微镜（FE-SEM）在程序启动后会提示进行flash，（去除电子源——FE吸附的气体分子，起清洁作用。）通常是每天开始使用SEM时flash

一次，并记录发射电流Ie，当累计使用超过8小时，发射电流开始不稳定，需要再轰击一次，同样记录下电流Ie。（注意flash不需要开启观测用的电子枪高压，软件显示高压off为灰色状态。） 轰击后可以立即观察图像。但是在初的1小时左右，有时会有图像干扰（图像中出现明暗的横线）。进行高分辨率的观察时，轰击完1小时以上后再进行观察。